能够应用于水液压内啮合齿轮泵主要零件的材料主要有高性能不锈钢、铝合金、复合材料、工程塑料、陶瓷等。由于齿轮和补偿机构零件的结构和形状复杂、加工精度很高，复合材料和工程塑料并不适宜，因此高性能不锈钢和铝合金成为现实的选择。经过材料的特性分析，9Cr18不锈钢用于制造大齿轮和小齿轮轴；L,C9铝合金和1Ci18Ni9Ti不锈钢分别用于制造两套轴向和径向补偿零件以便进行对比实验和选择；SF复合材料具有自润滑和抗腐蚀能力而被用于制造滑动轴承；选用了²LlOSA铝合金制造泵体。
内啮合齿轮泵的油、水介质对比实验和研究表明，主要零件工作表面的失效形式为严重的磨损和腐蚀。表面工程技术主要用于增强零件工作表面的抗磨损和抗腐蚀能力。经过分析研究， 适宜9Cr18不锈钢材料的表面工程技术是表面等离子注入，它能显著增强表面微观硬度并表面特性。因此，为保证泵在水润滑和腐蚀条件下的工作性能，其齿轮副中的小齿轮轴的工作表面采用了表面等离子注入N和T大齿轮采用了表面等离子注入N。采用1Ci18Ni9Ti不锈钢制造的轴向和径向补偿零件的工作表面也采用表面等离子注入N,而采用L,C9高强度铝合金制造的轴向和径向补偿零件的工作表面则采用了铝合金 适宜的表面微弧氧化技术，以便在其工作表面形成一层具有自润滑能力和高硬度、抗磨损、抗腐蚀的铝合金表面氧化陶瓷层，从而保证表面的工作性能。
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